Princip med trykkontrol af vakuumbelægningsudstyr

1. baggrund Introduktion
Vakuumbelægningsudstyr er et slags udstyr, der er meget brugt i industriel produktion. Dets hovedfunktion er at placere det materiale, der skal coates i vakuumbelægningskammeret, og gennem reaktionen under høj temperatur og højt vakuummiljø deponeres filmlaget jævnt på overfladen af ​​materialet. og danner et bestemt belægningslag med specielle funktioner og egenskaber. Blandt dem er vakuumgraden og vedhæftningshastigheden i udstyret vigtige indikatorer, der påvirker kvaliteten af ​​belægningslaget, og stabiliteten af ​​vakuumgraden afhænger af trykstyringen i udstyret.
2. princip om trykstyring af vakuumbelægningsudstyr
1. Definition af vakuumgrad
Før man introducerer princippet om trykstyring, er det nødvendigt at introducere, hvad vakuum er. I fysik henviser vakuum til et gasmiljø, hvis tryk er mindre end atmosfærisk tryk, så graden af ​​vakuum henviser til gastrykket i et bestemt rum. Generelt måles vakuum normalt i Pascals (PA) eller Meter Bar (MBAR). I vakuumbelægningsudstyr er det sædvanlige vakuumområde 10^-6pa ~ 10^-2pa.
2. princippet om trykstyring
Når vakuumet er for højt eller for lavt, vil det påvirke den normale drift af udstyret. Derfor er det nødvendigt at kontrollere vakuumniveauet i udstyret gennem en bestemt metode. Blandt dem er trykstyring en relativt enkel og effektiv kontrolmetode. Specifikt er princippet om trykstyring at bruge en trykcontroller til at kontrollere gasstrømningshastigheden i udstyret ved at detektere trykket fra den kontrollerede ende og derefter gennem feedbackmekanismen ved at kontrollere åbningen af ​​ventilen for at opnå formålet med at kontrollere trykket.
3. den grundlæggende sammensætning af trykcontrolleren
I vakuumbelægningsudstyr bruges en trykcontroller generelt til at kontrollere trykket. Dens grundlæggende sammensætning inkluderer fire dele: detektionssensor, controller, aktuator og kontrolsystem.
Detektionssensor: Det bruges hovedsageligt til at detektere trykændringen af ​​den kontrollerede ende og konvertere den til et tilsvarende elektrisk signaludgang til brug for controlleren.
Controller: Den modtager hovedsageligt det elektriske signaludgang fra sensoren, processer og analyserer den og fodrer derefter analysesultatet tilbage til aktuatoren for at kontrollere aktuatorens åbningsgrad.
Aktuator: Den kontrollerer hovedsageligt gasstrømningshastigheden i udstyret ved at kontrollere ventilens åbningsgrad for at opnå formålet med at kontrollere trykket.
Kontrolsystem: Det bruges hovedsageligt til at overvåge og kontrollere forskellige indikatorer i udstyret, såsom temperatur, vakuumgrad osv., Og fremstille en række kontrolstrategier.
3. Resume
Sammenfattende er princippet om trykstyring i vakuumbelægningsudstyr at kontrollere trykket i udstyret gennem en relativt enkel og effektiv feedbackmekanisme. For at etablere et sådant stabilt kontrolsystem kræver den tekniske support af forskellige aspekter af udstyrskontrolsystemet, såsom parameterovervågning, kontrolalgoritme, aktuatorkontrol, systemforbindelse osv. Disse tekniske faktorer kræver samarbejde fra visse professionelle og tekniske personale for at sikre, at udstyret kan vise mere fremragende ydelse.