Optisk vakuumbelægningsmaskinebelægningsteknologi

Optiske vakuumbelægningsmaskiner er meget udbredt i industrien, såsom mobiltelefonkameraer, mobiltelefonetuier, mobiltelefonskærme, farvefiltre, brilleglas osv. Præcisionsstandarden er meget høj, og forskellige belægninger kan coates, såsom AR antirefleksfilm, dekorativ kunst Plastfilm, motorkeramiske film, forbedrede reflekterende film, ITO-ledende film og antibegroningsfilm har en høj procentdel af salget på markedet.

Hvilken behandlingsteknologi bruger den optiske vakuumbelægningsmaskine til at belægge så mange lag?

Når den optiske vakuumbelægningsmaskine fordamper og akkumuleres, opvarmes kilderåmaterialerne i vakuumsystemet eller ionstråler negative elektroner for at fordampe. Der er mistanke om damp på den optiske overflade. I løbet af fordampningsperioden, i henhold til den præcise manipulation af opvarmning, vakuumpumpens arbejdstryk og den præcise placering og rotation af substratet, kan der fremstilles en ensartet optisk belægning med en særlig tykkelse. Fordampningen har relativt blide egenskaber, som vil gøre belægningen mere og mere løs eller porøs. Denne form for løs belægning har evnen til at absorbere vand, hvilket ændrer filmens rimelige brydningsindeks, hvilket vil resultere i reducerede egenskaber. Flygtige belægninger kan forstærkes med elektronstråleassisteret aflejringsteknologi, hvor elektronstrålen rettes mod waferoverfladen. Dette forbedrer adsorptionen af ​​det relative optiske overfladelag af kildematerialet, hvilket resulterer i en stor mængde intern stress, som fremmer højere tæthed og mere holdbarhed af belægningen.

Det højenergiske elektrostatiske felt kan accelerere elektronstrålen i elektronstrålemagnetronforstøvningen (IBS) af den optiske vakuumcoater. Disse øjeblikkelige hastigheder inducerer betydelig mekanisk energi i de positive ioner. Ved kollision med kildematerialet "forstøver" elektronstrålen målmaterialets molekyler. De magnetronforstøvede målpositive ioner (molekyler omdannes til positive ioner af hydrolysezonen) har også mekanisk energi, hvilket resulterer i en tæt film, når de er i kontakt med den optiske overflade. IBS er en præcis og gentagelig teknik.

Optisk vakuumcoater Plasmamagnetronforstøvning er en generel betegnelse for en række teknologier såsom avanceret plasmamagnetronforstøvning og magnetronforstøvning. Uanset hvilken slags teknologi det er, inkluderer det skabelsen af ​​plasma. Positive ioner i plasmaet accelereres ind i kildematerialet, kolliderer med løse energiske positive ioner og derefter magnetronforstøvning på den overordnede optiske målkomponent. Selvom forskellige typer plasmamagnetronforstøvning har deres unikke egenskaber, fordele og ulemper, kan vi kombinere denne teknologi sammen, fordi de har det samme princip, forskellen mellem dem, sammenligne denne form for belægningsteknologi og papiret. er meget mindre forskellige fra hinanden.

I modsætning til fordampningsaflejring fordamper kildematerialet, der anvendes til molekylært lagaflejring (ALD), ikke fra væsken, men eksisterer umiddelbart i form af en damp. Selvom processen bruger en damp, er høje omgivelsestemperaturer stadig nødvendige i vakuumsystemet. I hele processen med ALD afgives gaskromatografiprecursoren i henhold til den ikke-interleaved enkelt puls, og den enkelte puls er selvbegrænset. Denne type behandling har et unikt kemisk designskema, hver enkelt puls klæber kun til et lag, og der er ingen særlige krav til geometrien af ​​det optiske overfladelag. Derfor giver denne form for bearbejdning os mulighed for at styre belægningens tykkelse og design i relativt høj grad, men det vil reducere akkumuleringshastigheden.